Mechanical Turbomolecular Pump Edwards nEXT85D ISO100

Давление предельное остаточное, мбар: < 5 x 10¯⁹

Коэффициент сжимаемости азота: > 1х10¹¹

Коэффициент сжимаемости аргона: > 1х10¹¹

Коэффициент сжимаемости водорода: 2х10⁵

Коэффициент сжимаемости гелия: 8х10⁶

Масса, кг: 3,2

Скорость вращения, об/мин: 90000

Скорость откачки по азоту, л/с: 86

Скорость откачки по аргону, л/с: 84

Скорость откачки по водороду, л/с: 60

Скорость откачки по гелию, л/с: 80

Соединения вакуумные, входное/выходное: ISO100 / NW16

Тип охлаждения: Водяное / воздушное

Давление азота на выходе (макс.), мбар: ‒

‒ при естественной конвекции (23/30°C): 1/2

‒ при охлаждении водой (23/30°C): 10/16

‒ при принудительном воздушном охлаждении (23/35°C): 10/16

Поток азота на входе (макс.), л/мин: ‒

‒ при естественной конвекции (23/30°C): 0,025 / 0,01

‒ при охлаждении водой (23/30°C): 0,06 / 0,05

‒ при принудительном воздушном охлаждении (23/35°C): 0,06 / 0,03

Насос в собранном виде, готовый к использованию, с инструкцией по эксплуатации.